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氨水背景技术!德州氨水告诉你!

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氨水背景技术!德州氨水告诉你!

发布日期:2019-03-28 作者:德州金航 点击:

      氨气是半导体制程中重要的材料,以发光二极管(LED)为例,纯氨是制造LED的氮化镓晶体的重要材料,一般LED厂使用的纯氨虽为6N5(99.99995%)以上的等级,但纯氨仍无法避免含有微量的有机物,例如丙酮、异丙醇、甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丙烯等。当LED厂以MOCVD制程在高温下(750~1050℃)合成氮化镓时,有机物将会裂解为烷类、烯类、一氧化碳、二氧化碳、碳粒、烯酮等的衍生杂质。
  在另一方面,每提供100公斤的纯氨进入LED制程,将会有80公斤的氨气被排出制程,而一般排出制程的氨气浓度约为10%~15%,并包括氢气、氮气、甲烷、微量气体(一氧化碳、二氧化碳、烯酮)及粒状物(碳粒及金属镓),一般大都将这些排出的氨气视为废弃物而不再利用。排出的废氨气通常会被导入水中,并形成氨水排出。
氨水处理装置,其特征在于,它包括:
  多个板槽,以层迭的方式设置,该板槽包括一板体及至少一侧板,其中,该板体包括一上表面及一下表面,而该侧板设置于该板体的该上表面,使得该侧板与该板体的该上表面之间形成至少一容置槽;
  一外壳体,包括多个壳板、至少一液体输入端、至少一液体输出端及至少一气体输出端,该多个壳板之间具有一容置空间,该层迭设置的板槽设置于该容置空间内,并将该容置空间区隔成为流动空间,其中,该液体输入端、该液体输出端及该气体输出端流体连通该流动空间,且该流体输入端的上方及下方皆设置该板槽;

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